低溫冷凝泵是利用低溫表面冷凝、捕集、吸附被抽空間的氣體,使被抽空間的氣體壓強大大降低,從而獲得并維持真空狀態(tài)的抽氣裝置。所抽走的氣體不是直接排到泵外,而是吸附存儲在泵內(nèi)。低溫冷凝泵抽氣的基本原理是設法使某一固體表面溫度足夠低,使被抽氣體的飽和蒸氣壓大大降低,被凝結(jié)在低溫表面上,達到排除氣相分子的目的。
低溫冷凝泵所抽的氣體往往是混合氣體,如空氣,因而對某一冷表面來說同時存在“可凝性”氣體和“不可凝性”氣體。于是在低溫表面上便發(fā)生以下奇特現(xiàn)象:在可凝性氣體的凝結(jié)過程中,能不斷捕獲其他非可凝成分,并降低其分壓強,這種作用稱為低溫捕集。