干式真空泵的應用領域和分類
發(fā)布時間：2016年06月03日 09:35 閱讀：5346
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澤德
在近幾十年來的高真空系統(tǒng)中，由高真空油擴散泵和作為前級泵的油封式機械泵組成的排氣系統(tǒng)，在各工業(yè)部門得到了普遍應用。在這樣的真空系統(tǒng)中不可避免地要發(fā)生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中進行作業(yè)所用的工藝氣體會在油中溶解，工藝過程反應生成的顆粒狀副產(chǎn)物也會在油中積聚，使油本身變質劣化。
近來，半導體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統(tǒng)無油污染的技術難題。
干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10-2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵的種類
現(xiàn)在市場上提供的干式真空泵種類很多?？煞譃槿莘e式和動量傳輸式兩類。容積式無油真空泵，如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0．1～l0Pa，抽速為0．01～0．04m3/s。動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從標準大氣壓抽到10-2Pa。在結構上采用徑向和周向流泵的復合式結構，多級串聯(lián)取氣。這種泵的極限壓力約為10-2Pa，抽速為0．02～0．15m3/s。
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