通常，在VD/VOD工藝中廣泛使用的真空系統(tǒng)由大型多級(jí)蒸汽噴射泵系統(tǒng)組成。使用的蒸汽由蒸汽鍋爐提供。然而，鍋爐燒煤、油或天然氣生產(chǎn)蒸汽時(shí)，不但增加能量消耗而且會(huì)增大CO₂排放，污染環(huán)境。蒸汽噴射器是煉鋼工作者十分熟悉的設(shè)備，但它存在一些問題。例如，需要定期清除噴嘴系統(tǒng)的粉塵，延誤生產(chǎn)；蒸汽噴射器會(huì)產(chǎn)生大量富含粉塵且需處理的廢水；粉塵需要在熱水中進(jìn)行沉淀，再循環(huán)后的水尚含有少量粉塵；暴露在富含腐蝕粒子水中的管道和閘閥會(huì)提前磨損等。

　　近年來，機(jī)械真空泵技術(shù)得到了飛速發(fā)展，已由第一代復(fù)合式真空泵系統(tǒng)、第二代爪形干式泵系統(tǒng)，發(fā)展到了目前現(xiàn)代化的第三代機(jī)械真空泵系統(tǒng)，它是一種將羅茨泵(用于達(dá)到所需真空度)與干式泵相結(jié)合的機(jī)械真空泵系統(tǒng)。對(duì)這兩種泵的工藝性能都進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。選擇螺桿真空泵提供要求的真空度外，它還具有優(yōu)良的處理粉塵的能力。為了提高系統(tǒng)運(yùn)行的耐用性，減小外形尺寸，降低噪聲和電能消耗，對(duì)羅茨泵和螺桿泵分別進(jìn)行了優(yōu)化。因而，現(xiàn)代化的第三代機(jī)械真空泵具有極高的穩(wěn)定性、可靠性，且很容易取代傳統(tǒng)的蒸汽噴射泵。這種機(jī)械真空泵系統(tǒng)已成為大規(guī)模生產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，完全可以滿足全世界的需要。

　　三級(jí)真空系統(tǒng)能同時(shí)具有最高的抽氣速度和最低的能源消耗。該系統(tǒng)的核心點(diǎn)如下：

　　(1)以螺桿泵、羅茨泵的機(jī)械泵組代替?zhèn)鹘y(tǒng)的蒸汽噴射泵實(shí)現(xiàn)RH、VD、VOD精煉。

　　(2)系統(tǒng)運(yùn)行簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、可靠，尤其精煉前期避免了抽真空的波動(dòng)。

　　(3)能耗由蒸汽為主變?yōu)殡姙橹?，大幅度?jié)能。